气相沉积工艺”这几个字之后,恍如一道明亮的闪电劈过梁远的思维空间。
曾经隐藏在最角落里的记忆猛然如海潮般泛起,几乎瞬间梁远就明白了李远玲所说的单晶合金技术为啥和港基集电产生了联系。
电子束物理气相沉积这个词语的基点在物理气相沉积这段词语上,而重点则是在电子束上。
物理气相沉积physet,pvd起源于二十世纪早期,技术具体方式是在真空条件下,采用物理方法,将材料源固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子,并通过低压气体或等离子体在基体表面沉积具有某种特殊功能薄膜的过程。
比如梁远搞出来的导材料二硼化镁,最终进行工业级别的导薄膜生产时。所采用的批量生产技术就是物理气相沉积。
物理气相沉积的方法实际上有许多种:真空蒸镀、溅射镀膜、电子束算是其中最先进的一种。
通过科学家多年的实践,物理气相沉积技术不仅可沉积金属膜、合金膜、还可以沉积化合物、陶瓷、半导体、聚合物膜等材质。
重点的地方来了,航空动机通过物理气相沉积技术在单晶涡轮叶片上沉积耐热的陶瓷层,集成电路行业则是使用该技术在晶圆上沉积导电金属。
如果更改电子束射枪的性质功率,对工作环境,工作参数进行针对性修改之后,那么这套使用在单晶涡轮耐热涂层上的设备就会变成另外几种事物大名鼎鼎的等离子蚀刻设备、集成电路后期封装设备。
现代晶圆生产线的核心从来都不是晶圆本身,在晶圆上加工出集成电路才是生产线的重点,等离子蚀刻设备就是晶圆生产线最为核心的设备,而物理气相沉积技术更是分立器件行业最常用的技术之一。
这东西是现代基础科学中最核心的应用之一。如果把电子束改成短波激光,那么这东西就是新世纪之后晶圆产业进入纳米时代最重要的推手。
这套设备若是真玩明白了,远嘉就不用一代又一代的去国外引进晶圆生产线了,只要补上单晶硅的工业化制备环节。整个现代集成电路产业集团自己就可以做到真正的设计、生产一条龙万事不求人,那可是级大国才能拥有的能力。
想到这点,梁远不由得对苏良宇几人肃然起敬,这种大气的宏图已经不是企业格局所能形容的了,包括自己老娘在内,这几人绝对是这个时代最为顶尖的科学家。完全配得上时代精英、民族脊梁的称号。
看着梁远近乎亮的眼睛,和有些潮红的脸颊,李远玲猜测梁远明白了电子束物理气相沉积技术真正的价值和含义。
“这么快小远就弄明白这次交易的所有含义了”李远玲笑吟吟的问道。
“那当然,虽然我搞不明白相关技术的运行原理是什么,但是一种技术真正好坏与否,是否具备广阔的展前景,在这颗星球上不会有比我作出更准确论断的人。”梁远无比兴奋、得意洋洋的说道。
“苏工他们几个的梦想可不是容易实现的,否则ge怎么可能放手这么关键的技术。”
李远玲看梁远的神色有些兴奋过度,忍住不开口降低梁远的心理预期,否则苏良宇几人的压力就太大了。
当然,李远玲是压根没搞明白某人看起来兴奋过度的真实缘由。
ps:一会还有一章
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